重生之工业大亨全集免费阅读,第120章:干法蚀刻-艾叶小说网

书号:45750 时间:2018/2/28 字数:3408

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　　总算是给‮府政‬解释清楚了，不管他们到底相不相信，起码不会立马图穷匕现了，这是他最担心的。说实话在九几年的‮国中‬，最多的钱，也不能保证完全‮全安‬。‮府政‬还是专政机关，外资企业要好点，毕竟他们受自已‮家国‬的法律保护，一般的⽗⺟官不敢

来。

　　从市委朱‮记书‬那里告辞，回到公司后，沈丹青吓得出了一⾝冷汗，幸亏他说服了朱‮记书‬，否则长胜投资集团就有可能止戈成沙了，这可不是开玩笑。当然啦！也幸亏这件事上了‮央中‬新闻，有可能被⾼层‮导领‬关注了。‮府政‬可能也有这方面的顾虑，总之这件事情算是过去了。

　　这件事情过后，长胜投资集团总算是过了一个坎。沈丹青也更加希望能快点将总公司搬去长沙，于是他更加频繁地向王全福了解长沙工业园的筹备情况。

　　王全福真是哭笑不得，才刚开始派人去，能有多大的进展，他们第一期选址都还没开始呢？因此他只好亲自上来，耐心地跟老板解释：“老板，他们还在考察地形，，总得做一个全局的规划，否则以后会顾此失彼。”

　　“好吧！是我心急了，你让他们仔细地规划吧！有了结果再告诉我。”沈丹青承认自己心急了，正所谓关心则

，得好好冷静冷静了，他在心里对自已说。

　　“好的，老板。我有消息会第一时间告诉你的。如果没什么事，我就告辞了，公司还有一大摊子事等我处理呢！”王全福不敢说老板是

弹琴，只是说自已很忙，言下之意就是告诉老板，不要下

命令，耽误别人的正事。

　　“嗯！你回去吧！”沈丹青轻轻的挥了挥手，意兴珊阑的说道。

　　时间是一记很好的‮慰抚‬剂，任何坏事在它的冲刷下都会慢慢的失去威力，直至被‮民人‬淡忘。不知不觉又过了一个多月。在这段时间里，长胜投资集团旗下各企业集团和单位却都发展顺利。

　　首先是机械技术研究院和长胜精工，研制成功了

片封装设备。这套设备与国外的同类设备有一点点不同，他不是采用什么传带式的流⽔线。而是釆用他们

悉的轨道直线电机，上面安装自动机械臂的输送方式，等于是初级的智能机器人。自动机械臂上安装有真空昅盘，盛放硅晶圆的托盘就被牢固的昅附在昅盘上。整个输送过程，都不需要直接接触

片，未封装的

片是非常脆弱的，稍有不注意，就会造成机械损伤，甚至是报废。另外，他们这套设备效率非常⾼，是完全的自动化，不需要人工参与，因此能保证厂房里面的灰尘降到最低。整个厂房几乎是密封的，没有人员进⼊，灰尘当然就少了。

　　物理研究所的胡所长‮导领‬的离子注⼊机事业部，也传来了喜讯。他们终于研制出了正式的离子注⼊机设备。能给沈丹青报来喜讯，当然已经是非常成

的设备了。他们还算是运气好，幸好物理研究所有现成的质量分析器和离子‮速加‬器，这两样科研设备。否则如果让他们从新研究，就不知道要研究到什么时候了。他们也算是踩在巨人的臂膀上成功的。

　　到了此时，就只剩自动检测程序没有完成了。沈丹青特意找卢汝成了解了一下，得知他们的任务非常困难，非短时间所能解决。于是他做出了一个决定，让这套

片生产设备开始试制

片，有什么问题尽量在生产中发现。用财力促进‮速加‬

片技术的发展。前期的问题肯定很多，这些都是自动检测程序的宝贵的资料。

　　没有自动检测程序，需要人工检测，

片生产速度当然非常慢。就像木桶理论所说的一样，整个生产速度只能以人工检测的速度为基准了。不过沈丹青不会在意，对长胜投资集团来说，能用钱解决的问题都不是问题。

　　用纳米级

片制造设备来制造十六位元

片，难度当然很低了，初次制造，合格率就非常⾼，达到了53%，不合格的

片，不是工艺问题，而是化学蚀刻的原因。他们研究的这套化学蚀刻设备太过简单了，还缺少许多先进技术。他们釆用的是原始的自然蚀刻技术，因此造成的蚀边非常明显。化学蚀刻就是用化学药剂，溶解没有光刻胶保护的硅晶圆或铜互联层。如果任由它自然蚀刻，就会造成蚀边。也就是腐蚀了不需要蚀刻的晶体管和铜联接线的边。他们因为是第一次研制化学蚀刻设备，没有经验，以为只是一个纯粹的化学反应。造出来的蚀刻设备是最原始的设备，以前4位元

片的时候，人们就是使用这种技术。到如今当然已经不适用了。

　　得到了化学蚀刻出现问题之后，沈丹青非常重视，他立刻召集了相关科研单位商讨对策。

　　说实话，他们是第一次见到这个问题。用化学方法蚀刻这么微小的图形，本来就很神奇。现在却说这种方法不行，要另想办法。这可真的难住他们了，他们一时也没有了好办法。最后还是沈丹青记起了前世的一些书上讲过，蚀刻分为

法蚀刻和⼲法蚀刻。因此对他们说：“试试⼲法蚀刻，或许要好许多。”

　　“老板，什么是⼲法蚀刻？你能祥细的告诉我们吗？”化学研究所的所长王波就站出来问他。没办法谁让化学蚀刻技术是化学研究所的主要责任呢？

　　“先声明啊！我不懂具体原理。我只知道在一定的气庒庒力下，电浆离子与氧化硅或铜起反应或⾼速‮击撞‬，使之同样气态电离化，然后用菗气机菗走。又进行同样的步骤，直至蚀刻出我们需要的图形。这种方法能减少侵蚀，得到比较陡边的图形。应该来说会比

法蚀刻好得多，也精密得多。不管怎么样！大家先试试看吧！”沈丹青将他所知道的只言片语讲了出来，具体的技术和方法就要他们去研究了。

　　“老板，具体点，是哪几种电浆，你知道吗？”王波以希翼的语气问他。他自己也知道老板可能不知道，所以才用这样的语气请问他。

　　“我怎么知道？我又不是科学家，我只不过是看到书上提到了几句，具体的原理和方法，还要你们自己去实验，我是帮不了的。”果然不出王波所料，老板不知道。而且他还讲的理直气壮，也不知道他是从哪本书上看到的。要知道他们这些专业的科学家都不知道，也真是怪了。老板经常神神秘秘的，好多的先进技术，都是从他的嘴里讲出来的，虽然只有⽪⽑，但是起码有了方向，不再是一无所知。

　　“大家听我说，刚才老板己经为我们指明了方向，我们就以这个方向为突破口。我刚才大体考虑了一下，觉得非常可行。许多技术，我们在研制离子注⼊机的时候己经掌握了。这种新方法，无非是在离子注⼊机技术的基础上加上了化学反应。而未知的游离电浆，我也有了初步的预判。我们只研究与氧化硅和铜起反应的两种电浆。其它的蚀刻，还是釆用

法蚀刻，不会影响成品率。那么这两种电浆就是我们化学研究所的任务了。其它的机体部分，还是和离子注⼊机差不多。我们先试着⼲吧！…”

　　王波主动的站出来发言，话还没讲完，就被沈丹青打断了：“很好，刚才王所长的讲话非常有见地。我现在任命王所长为这次⼲法蚀刻设备研发的事业部部长。其他人都要听从他的指挥，他还可以从整个公司调配人力和资源。为了提⾼你们的急极

，我提早告诉你们一个好消息。”

　　沈丹青的话没讲完，在场的人的心思就纷纷蠢蠢

动了。老板嘴里说出的好消息，那一定错不了。

　　大家的举动，沈丹青都看在眼里。他不仅没有气恼大家打断他的话，反而非常⾼兴的接着说：“只要这套

片生产设备，研发成功。具备一定的精确度和良品率，我们就会去长沙设立第一家

片制造工厂。工厂正式投产之后，所有参与研发

片制造设备的工作人员，你们的欠款，全部一笔勾销。怎么样？这个奖励大家満意吗？”

　　整个会场，一时失声。大家都太震惊了，不敢想象老板既然能给这么重的奖励。要知道，参与研发人员，至少都是工程师级别的技术员。级别⾼了，他们欠公司的钱也就更多，少的也欠了上百万，多的欠了几百万，比如各研究所的所长。这次奖励，比他们这几年工作所得的工资和奖金还要多，能不让他们‮奋兴‬吗？“哦！”会场响起了一片

呼声，老板的奖励太给力了，他们一时控制不住自已‮奋兴‬的情绪，没有任何人例外。

　　沈丹青看着会场上的人员的反应，満意地点了点头，他要的就是这种效果，只有不断

励大家，他们才能给他更大的回报。这点钱算什么，后世纳米级别的

片制造设备，没有几十亿你想都别想，单位还是美金。‮国中‬人想买，他们还不会卖给你。现在长胜集团自已研发了全套技术，先不管先进与否，只要有了，以后就可以不断改进。能与欧美并驾齐驱，这种感觉就像‮品毒‬一样，令沈丹青深深的

醉。

　　…

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总算是给‮府政‬解释清楚了，不管他们到底相不相信，起码不会立马图穷匕现了，这是他最担心的。说实话在九几年的‮国中‬，最多的钱，也不能保证完全‮全安‬。‮府政‬还是专政机关，外资企业要好点，毕竟他们受自已‮家国‬的法律保护，一般的⽗⺟官不敢来。　　从市委朱‮记书‬那里告辞，回到公司后，沈丹青吓得出了一⾝冷汗，幸亏他说服了朱‮记书‬，否则长胜投资集团就有可能止戈成沙了，这可不是开玩笑。当然啦！也幸亏这件事上了‮央中‬新闻，有可能被⾼层‮导领‬关注了。‮府政‬可能也有这方面的顾虑，总之这件事情算是过去了。　　这件事情过后，长胜投资集团总算是过了一个坎。沈丹青也更加希望能快点将总公司搬去长沙，于是他更加频繁地向王全福了解长沙工业园的筹备情况。　　王全福真是哭笑不得，才刚开始派人去，能有多大的进展，他们第一期选址都还没开始呢？因此他只好亲自上来，耐心地跟老板解释：“老板，他们还在考察地形，，总得做一个全局的规划，否则以后会顾此失彼。” 　　“好吧！是我心急了，你让他们仔细地规划吧！有了结果再告诉我。”沈丹青承认自己心急了，正所谓关心则，得好好冷静冷静了，他在心里对自已说。　　“好的，老板。我有消息会第一时间告诉你的。如果没什么事，我就告辞了，公司还有一大摊子事等我处理呢！”王全福不敢说老板是弹琴，只是说自已很忙，言下之意就是告诉老板，不要下命令，耽误别人的正事。　　“嗯！你回去吧！”沈丹青轻轻的挥了挥手，意兴珊阑的说道。　　时间是一记很好的‮慰抚‬剂，任何坏事在它的冲刷下都会慢慢的失去威力，直至被‮民人‬淡忘。不知不觉又过了一个多月。在这段时间里，长胜投资集团旗下各企业集团和单位却都发展顺利。　　首先是机械技术研究院和长胜精工，研制成功了片封装设备。这套设备与国外的同类设备有一点点不同，他不是采用什么传带式的流⽔线。而是釆用他们悉的轨道直线电机，上面安装自动机械臂的输送方式，等于是初级的智能机器人。自动机械臂上安装有真空昅盘，盛放硅晶圆的托盘就被牢固的昅附在昅盘上。整个输送过程，都不需要直接接触片，未封装的片是非常脆弱的，稍有不注意，就会造成机械损伤，甚至是报废。另外，他们这套设备效率非常⾼，是完全的自动化，不需要人工参与，因此能保证厂房里面的灰尘降到最低。整个厂房几乎是密封的，没有人员进⼊，灰尘当然就少了。　　物理研究所的胡所长‮导领‬的离子注⼊机事业部，也传来了喜讯。他们终于研制出了正式的离子注⼊机设备。能给沈丹青报来喜讯，当然已经是非常成的设备了。他们还算是运气好，幸好物理研究所有现成的质量分析器和离子‮速加‬器，这两样科研设备。否则如果让他们从新研究，就不知道要研究到什么时候了。他们也算是踩在巨人的臂膀上成功的。　　到了此时，就只剩自动检测程序没有完成了。沈丹青特意找卢汝成了解了一下，得知他们的任务非常困难，非短时间所能解决。于是他做出了一个决定，让这套片生产设备开始试制片，有什么问题尽量在生产中发现。用财力促进‮速加‬片技术的发展。前期的问题肯定很多，这些都是自动检测程序的宝贵的资料。　　没有自动检测程序，需要人工检测，片生产速度当然非常慢。就像木桶理论所说的一样，整个生产速度只能以人工检测的速度为基准了。不过沈丹青不会在意，对长胜投资集团来说，能用钱解决的问题都不是问题。　　用纳米级片制造设备来制造十六位元片，难度当然很低了，初次制造，合格率就非常⾼，达到了53%，不合格的片，不是工艺问题，而是化学蚀刻的原因。他们研究的这套化学蚀刻设备太过简单了，还缺少许多先进技术。他们釆用的是原始的自然蚀刻技术，因此造成的蚀边非常明显。化学蚀刻就是用化学药剂，溶解没有光刻胶保护的硅晶圆或铜互联层。如果任由它自然蚀刻，就会造成蚀边。也就是腐蚀了不需要蚀刻的晶体管和铜联接线的边。他们因为是第一次研制化学蚀刻设备，没有经验，以为只是一个纯粹的化学反应。造出来的蚀刻设备是最原始的设备，以前4位元片的时候，人们就是使用这种技术。到如今当然已经不适用了。　　得到了化学蚀刻出现问题之后，沈丹青非常重视，他立刻召集了相关科研单位商讨对策。　　说实话，他们是第一次见到这个问题。用化学方法蚀刻这么微小的图形，本来就很神奇。现在却说这种方法不行，要另想办法。这可真的难住他们了，他们一时也没有了好办法。最后还是沈丹青记起了前世的一些书上讲过，蚀刻分为法蚀刻和⼲法蚀刻。因此对他们说：“试试⼲法蚀刻，或许要好许多。” 　　“老板，什么是⼲法蚀刻？你能祥细的告诉我们吗？”化学研究所的所长王波就站出来问他。没办法谁让化学蚀刻技术是化学研究所的主要责任呢？　　“先声明啊！我不懂具体原理。我只知道在一定的气庒庒力下，电浆离子与氧化硅或铜起反应或⾼速‮击撞‬，使之同样气态电离化，然后用菗气机菗走。又进行同样的步骤，直至蚀刻出我们需要的图形。这种方法能减少侵蚀，得到比较陡边的图形。应该来说会比法蚀刻好得多，也精密得多。不管怎么样！大家先试试看吧！”沈丹青将他所知道的只言片语讲了出来，具体的技术和方法就要他们去研究了。　　“老板，具体点，是哪几种电浆，你知道吗？”王波以希翼的语气问他。他自己也知道老板可能不知道，所以才用这样的语气请问他。　　“我怎么知道？我又不是科学家，我只不过是看到书上提到了几句，具体的原理和方法，还要你们自己去实验，我是帮不了的。”果然不出王波所料，老板不知道。而且他还讲的理直气壮，也不知道他是从哪本书上看到的。要知道他们这些专业的科学家都不知道，也真是怪了。老板经常神神秘秘的，好多的先进技术，都是从他的嘴里讲出来的，虽然只有⽪⽑，但是起码有了方向，不再是一无所知。　　“大家听我说，刚才老板己经为我们指明了方向，我们就以这个方向为突破口。我刚才大体考虑了一下，觉得非常可行。许多技术，我们在研制离子注⼊机的时候己经掌握了。这种新方法，无非是在离子注⼊机技术的基础上加上了化学反应。而未知的游离电浆，我也有了初步的预判。我们只研究与氧化硅和铜起反应的两种电浆。其它的蚀刻，还是釆用法蚀刻，不会影响成品率。那么这两种电浆就是我们化学研究所的任务了。其它的机体部分，还是和离子注⼊机差不多。我们先试着⼲吧！…” 　　王波主动的站出来发言，话还没讲完，就被沈丹青打断了：“很好，刚才王所长的讲话非常有见地。我现在任命王所长为这次⼲法蚀刻设备研发的事业部部长。其他人都要听从他的指挥，他还可以从整个公司调配人力和资源。为了提⾼你们的急极，我提早告诉你们一个好消息。” 　　沈丹青的话没讲完，在场的人的心思就纷纷蠢蠢动了。老板嘴里说出的好消息，那一定错不了。　　大家的举动，沈丹青都看在眼里。他不仅没有气恼大家打断他的话，反而非常⾼兴的接着说：“只要这套片生产设备，研发成功。具备一定的精确度和良品率，我们就会去长沙设立第一家片制造工厂。工厂正式投产之后，所有参与研发片制造设备的工作人员，你们的欠款，全部一笔勾销。怎么样？这个奖励大家満意吗？” 　　整个会场，一时失声。大家都太震惊了，不敢想象老板既然能给这么重的奖励。要知道，参与研发人员，至少都是工程师级别的技术员。级别⾼了，他们欠公司的钱也就更多，少的也欠了上百万，多的欠了几百万，比如各研究所的所长。这次奖励，比他们这几年工作所得的工资和奖金还要多，能不让他们‮奋兴‬吗？“哦！”会场响起了一片呼声，老板的奖励太给力了，他们一时控制不住自已‮奋兴‬的情绪，没有任何人例外。　　沈丹青看着会场上的人员的反应，満意地点了点头，他要的就是这种效果，只有不断励大家，他们才能给他更大的回报。这点钱算什么，后世纳米级别的片制造设备，没有几十亿你想都别想，单位还是美金。‮国中‬人想买，他们还不会卖给你。现在长胜集团自已研发了全套技术，先不管先进与否，只要有了，以后就可以不断改进。能与欧美并驾齐驱，这种感觉就像‮品毒‬一样，令沈丹青深深的醉。　　…